IMPAC 对称偏置波形发生器系列_供应产品

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经营范围：IMPAC高压电源，IMPAC等离子发电机，IMPAC发生器

主营行业：

所在地区：美国

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IMPAC 对称偏置波形发生器系列

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详细信息

　　直接控制衬底电压和离子能量分布

　　eVoS? 平台可直接控制晶圆表面电压和离子能量分布，使工艺工程师能够针对特定工艺结果优化偏置性能。

　　取代传统的射频（正弦波）偏置功率传输系统

　　提供优化的非对称波形，可直接控制衬底电压和离子能量分布

　　解决了正弦波偏差的主要缺点：广泛、不受控制的离子能量分布

　　专有控制系统可直接控制晶圆偏置特性。支持多能量/多*脉冲

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